第440章光刻機項目：另闢蹊徑

沐陽研究更新后的閱讀系統兩個多小時才研究透，興奮得睡不着。

喝了一杯茶，他想看看晶片製造技術的核心設備：光刻機。

目前市場上，有兩種主流光刻機，一個是DUV光刻機，另一個是EUV光刻機。

DUV是深紫外線（DeepUltravioletLithography），EUV是極深紫外線（ExtremeUltravioletLithography）。

從製程範圍來看，DUV基本上只能做到25nm，Intel憑藉雙工作枱的模式做到了10nm，但是卻無法達到10nm以下。

只有EUV能滿足10nm以下的晶圓製造，並且還可以向5nm、3nm繼續延伸。

這個線寬其實就是跟光的線寬有關係，比如可見光的G線，那就是436nm，如果用來刻蝕，線路肯定很寬。

可以簡單地認為，光刻機的光系統其實就是一支畫筆，不同的光代表不同粗細大小的筆芯，越細的筆（光）能夠畫越細越複雜的畫。

DUV就是彩筆，EUV就是中性筆，中性筆畫的線條比較細，比較好用。

這麼理解，也好理解光刻機到底如何刻蝕電路圖了。

當前，國外品牌光刻機主要以荷藍ASML，島國Nikon和Canon三大品牌為主。

EUV的價格是1-3億美金/台，DUV的價格為2000萬-5000萬美金/台不等。

目前先進的光刻系統就是EUV光刻機，如果沐陽打算走EUV光刻機路線，必然繞不開別人的技術專利保護範圍。

因此，他只能尋找另外光種的光刻機，同時要考慮到光的解像度、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等指標。

就說解像度，如果製作出來的電路圖模糊不清，那晶片肯定不好。

光刻機其它的指標，也可以比喻成畫筆的性能就行了。

並不是說，沐陽不能搞光刻機了，只是說，再搞DUV和EUV光刻機，繞不開以上三家企業的技術專利保護範圍。

所以，他只能另闢蹊徑。

很久之前，沐陽就想到過電子束光刻機。

原本，再過幾年，漂亮國的一個實驗室研發出一套名為ZyvexLitho1的光刻系統，基於STM掃描隧道顯微鏡，使用的是EBL(E-BeamLithography)電子束光刻方式，製造出了0.7nm線寬的晶片，只是沒法實現批量生產，或者成本高過。

沐陽相信，如果是技術成熟的電子束光刻機，線寬比0.7nm更小。

他在系統商店普通貨架上默念搜索「電子束光刻機」，很快，搜索出幾款相關技術。

沐陽選擇適合自己公司的一款技術：EBL01

技術參數：

1.最小線寬：小於1nm

2.加速電壓：5-500kV

3.電子束直徑：小於0.5nm

4.套刻精度：1nm(mean+0.2σ)

5.拼接精度：1nm(mean+0.2σ)

6.加工晶圓尺寸：4-18英寸

7.描電鏡解像度：小於0.2nm

主要特點：

1.採用超高亮度和超高穩定性的TFE電子槍；

2.出色的電子束偏轉控制技術；

3.採用場尺寸調製技術，電子束定位解像度可達0.0002nm；

4.採用軸對稱圖形書寫技術，圖形偏角解像度可達0.002mrad；

5.應用領域廣泛，如微納器件加工，研究用掩膜製造，納米加工（例如單電子器件、量子器件製作等），高頻電子器件中的混合光刻，圖形線寬和圖形位移測量等。

……

需要成就點：300點！

……

沐陽大概看了下簡介，光從技術參數上就看出它的先進性。

還有更加先進的光刻機，但是，以星海集團目前的條件，買了也造不出來，而且需要的成就點非常多。

這個EBL01號稱可以製造1nm以下的晶片，但量產成本會比較高。

因此，當前的情況，星海集團可以從7nm晶片工藝開始，可以保證在2018年之前保持在世界第一地位。

等競爭對手可以批量搞7nm晶片了，星海集團再推出5nm或3nm晶片。

有些設備應用，也用不着這麼高端的晶片，28nm晶片工藝足夠，也是未來十年內的主流。

只是說，沐陽不打算玩什麼中低端晶片。

另外，沐陽打算弄一些小於1nm的晶片，用於製造量子計算機和超算，這類晶片他打算自用。

接下來，沐陽確認購買EBL01技術。

十幾分鐘后，沐陽把EBL01技術吸收完畢。

他感覺自己對光刻機有了更深入的了解，如今就是實實在在的晶片製造頂尖專家。

買了光刻機的技術，沐陽還得購買晶片設計技術、晶片設計相關軟件和相關設備。

這個晶片設計軟件，他就不打算自己研發了，他在晶片軟件設計這一塊是弱點，靠自己研究不知道得花多長時間。

而且，目前公司形勢嚴峻，一旦漂亮國知道自己公司在搞晶片了，會對星海集團搞各種限制。

沐陽現在趕時間，同時還有更多更重要的事情需要他親自處理。

於是，他又花了400點成就點。

這一晚，沐陽就花了700點成就點，還是有些心疼。

等吸收完新技術后，沐陽實在有些發困了，回床休息。

翌日，沐陽是被宋雪露吧嗒一下臉蛋睡醒的。

「孩子他爸，生日快樂。」

「謝謝，有你真好。」

沐陽睜開朦朧的雙眼，攬過妻子的纖腰。

他老婆跟他同年出生，只比他小几個月。

系統8級時，商店有駐顏、延遲衰老類的醫藥技術，沐陽希望在二十年內研發出來，能夠用在老婆身上。

「我看你挺疲憊的，昨晚幾點睡的？」

「好像凌晨三點多了吧。」

「這麼晚呀，又有什麼煩惱？」

「不是煩惱，就是突然想到一些靈感，就起來記錄一下。」沐陽揉一揉老婆的秀髮道。

「哦，現在才七點多，你繼續睡一會吧。」

沐陽點頭，繼續補覺，直到九點才起床。

今天他生日，也沒搞什麼慶祝儀式，他不太喜歡搞這一套，現在家裏不缺錢，吃喝都是最好的，每天過得跟過節一樣。

吃過早餐，陪了一會孩子。

現在孩子已經會喊他爸爸了，只是發音不夠清晰。

他對幾個照看孩子的嬰兒師和傭人檢測了一下忠誠度。

忠誠度並不是瞄一眼就能測試出來，大概需要幾秒鐘時間，而且被檢測人員在沐陽幾米範圍內。

被檢測的人員，頭頂冒出一個拳頭大小的數值，超過70的數值都是綠色，值越高，顏色越深。

最終，他們的忠誠度都在80-85之間，這也讓沐陽放心了些，他最怕某個傭人對他的孩子不懷好意。

然後，沐陽再檢測自己的保鏢，發現忠誠度就高了許多，都在88以上。

保鏢追隨自己的時間長，跟自己關係好，沐陽對他們也好，忠誠度高一些也屬正常。

同時，沐陽發現，他檢測十個人之後，他發現自己系統金錢竟然少了一千萬。

檢測一個人的忠誠度就花一百萬系統金錢？

如果只是這樣的話，沐陽還能接受，只是，如果不是公司重要骨幹和重要人員，那真的沒必要進行檢測了。

他是隨隨便便賺到一百萬元，但卻不容易刷到一百萬系統金錢，說不定這系統金錢在未來有更大用處呢。

對於家人，沐陽不想檢測什麼忠誠度，也沒有想過。

如果有那個想法，說明已經不信任家人了。

第二天，公司正常上班。

沐陽借新的一年開個中高層管理層碰頭會，其實就是想檢測所有中高管理層的忠誠度，最終發現都在80到90之間，像周晨和張蕭峰對他的忠誠度都達到了90。

管理層不存在間諜，沐陽沒有之前的擔憂了。

一般情況，沐陽都不用再去開什麼會了，現在都由集團總裁周晨來負責公司大小事務，如今更加放心了。

沐陽檢測完管理層的忠誠度后，在各技術部和實驗室走一圈，針對重要部門的核心人員進行檢測，發現大多員工忠誠度在70到85之間。

這一輪檢測，沐陽還真發現了兩個異常數值，兩個都是高級軟件工程師，忠誠度值分別是17和19，頭頂的忠誠值顏色變成紅色，都是在工業軟件部門，進公司不到一年時間。

其它部門的技術不好偷，但軟件類核心代碼，那真是的好偷多了，只不過，公司針對這一類核心技術保護得很好，別說一般員工，就連工業軟件的管理層都難接觸到。

沐陽記下對方名字后，回到辦公室，找來人事總監賴春琴，她在去年由人事經理提升到總監級別。

等賴春琴到他辦公室后，沐陽把一張紙條遞給她，嚴肅地說：「賴總，幫我認真查一下這兩個人的背景和來歷，注意動靜。」

「董事長，你懷疑他們是間諜？」雖然賴春琴是第一次聽董事長這麼交代，但她做為人事總監，負責人員招聘，警惕性很高，不少間諜想混進星海集團，她也是跟下屬這樣提醒。

沐陽臉色鄭重，隨意找一個借口：「是的，你說的沒錯，間諜的可能性比較高，如果真是，危害性比較高。

讓保安部檢查一下兩個人的歷史視頻，如果發現真有對公司不利的舉動，已經違法的話，那就報警；

如果沒有，想辦法辭掉，也不用調到非核心部門，我們沒有心思跟他們玩貓抓老鼠遊戲，誰知道他們哪一天搞大破壞。」

「好的。」

賴春琴點頭，也沒問董事長是如何發現的，誰告訴他，這不是她應該問的。

她離開后，就讓人事經理方雪認真調查兩人的情況。

公司的辦公室和實驗室都安裝有高清攝像頭，不算是侵犯員工的私隱權。

還有沐陽設計的員工行為數據分析軟件，可以直接鎖定某個人員的視頻，一般情況下，都不會動用這個，只有人事部的管理層和高層知道這個玩意，尚未在保安部開放。

每個員工都錄過人臉識別，所以這個軟件才具備鎖定功能。

只用了半天時間審查，結果就出來了。

查背景，的確沒查出什麼。

但查看視頻時，發現兩人的行蹤，特別是晚上加班后的行蹤，有些鬼鬼祟祟。

公司也不能無緣無故辭退員工，但賠償到位，員工也沒法說什麼。

1月3號上午，被查的一名高級軟件工程師陳一方來找人事部找人事經理質問：

「為什麼辭退我，我又沒有犯什麼錯，每天兢兢業業工作。」

「不好意思，這是上面的決定，公司會賠償你的損失。」人事經理方雪很抱歉說道，沒有證據的事，她也不好說出來。賴總把這件事交給她處理，只能做到這一步了。

另一位員工，反倒是沒說什麼，直接同意了，估計是知道原因了，星海集團不想撕破臉，暫時沒找到證據而已。

「我不要什麼賠償，我只想留在公司繼續做下去。」

「陳一方，其實大家沒必要耗下去，我雖然不知道是什麼原因，但肯定是有原因的，星海集團不會無緣無故辭退員工，你先回去考慮一下吧。」

陳一方聽到這話，只好氣呼呼離開人事部，請假半天時間。

他離開星海集團的範圍，打了一個隱秘電話。

「你的行動被發現了？」

「應該沒有，我到星海集團接近一年時間，根本沒有做出什麼行動，如果沒有把握，我不會輕易動手的。星海集團的技術保密做得非常好，AD軟件的核心代碼，別說是專家，就連技術經理，都難以接觸到，聽說是沐陽親自編寫的。」

「那麼大的工作量，沐陽不太可能親自編寫，有可能他有另外的技術團隊，只是你們不知道而已。既然懷疑到你了，而沒有說明原因，說明星海集團沒有找到證據，你留下來也沒用了，回來吧，公司需要你。」

陳一方知道老闆不相信沐陽的神奇，也不想過多地解釋，思索了一會，嘆了口氣：「好的。」

如果是正常情況，星海集團給的待遇真的非常好，他是不想離開的，而且元旦過後，公司正式給員工發放海外悍馬公司的股權激勵。

但是，有些事情，並不是錢能夠講得通的。

如果他背叛他的老闆，他和家人的下場估計會很慘，這是他不願意嘗試的。

當天下午，他再次找人事經理方雪，同意離職，第二天就搬離星海集團。

沐陽再次收到賴春琴的彙報時，鄭重說了一句：「嗯，知道了。」

雖然被開除的兩人只是兩個小人物，但沐陽也不得不重視起來，畢竟一粒老鼠屎，就能搞臟一鍋湯。

升級后的沐陽非常繁忙，有很多計劃執行，而且元旦過後，離今年春節很近了，1月30日就是除夕，公司計劃1月24日正式放年假，他的事情也多了一些。

今年還是按照去年一樣，年會和年夜飯都在同一天召開，在公司籃球場舉辦年會。

晶片製造的設備研發周期會比較長，EBL電子束光刻機的設備是複雜，但難度不在結構性的複雜，而是很多零部件很難在市場上找到匹配的，只能向廠商定製，另一方面，由於生產量不大，廠商並不多，可能全球就只有一家生產某個零部件，對方不一定賣給星海集團，最難的就在這裏。

如果定製弄不到，那隻能自己研發生產，會拉長整個研發周期。

沐陽一翻思索，晶片是公司的重中之重，也關係到未來智能化的佈局。

只要是不容易採購的進口零部件，公司還是想辦法自主研發生產，不能被老外卡脖子。

先搞電子束光刻機，等進展差不多了，再搞晶片設計，一步一步來。

(本章完)